면적 283.2m² (85.7평) 높이 4.97m 청정도 100,000 class 온도 22 ± 2°C 습도 50 ± 5 %
면적 Clean Room : 64m² (19.4 평) 전실 및 반입구 32m² (9.7 평) 높이 Clean Room : 8m 전실 : 3.6m 반입구 : 4.5m 청정도 Clean Room : 1,000 class 전실 및 반입구 : 1,000 class 온도 22 ± 3 °C 습도 : 55 ± 5 %